I componenti elettronici uniformi fini del film 3C di spessore Vacuum il magnetron di PVD che farfuglia l'attrezzatura del rivestimento

Principio di funzionamento: Farfugli il deposito è un metodo fisico di (PVD) di applicazione a spruzzo di deposito del film sottile farfugliando. Ciò comprende espellere il materiale «da un obiettivo» che è una fonte «su un substrato» quale una lastra di silicio. Resputtering è ri-emissione del materiale depositato durante il processo del deposito tramite il bombardamento dell'atomo o dello ione. Gli atomi farfugliati espelsi dall'obiettivo hanno un'ampia distribuzione di energia, tipicamente fino ai dieci di eV (100.000 K). Gli ioni farfugliati (in genere soltanto una piccola frazione di particelle espelse sono ionizzate — sull'ordine di 1 per cento) possono balistico volare dall'obiettivo nelle linee rette e nell'impatto energetico sui substrati o sulla camera di vuoto (che causa resputtering). Alternativamente, alle più alte pressioni del gas, gli ioni si scontrano con gli atomi del gas che fungono da moderatore e si muovono di diffusione, raggiungenti i substrati o la parete della camera di vuoto e condensanti dopo avere subito una passeggiata aleatoria. L'intera gamma da impatto balistico ad alta energia a moto thermalized a bassa energia è accessibile cambiando la pressione del gas del fondo. Il gas farfugliare è spesso un gas inerte quale l'argon. Per il trasferimento di slancio efficiente, il peso atomico del gas farfugliare dovrebbe essere vicino al peso atomico dell'obiettivo, in modo da per farfugliare il neon leggero degli elementi è preferibile, mentre per gli elementi pesanti il cripto o il xeno è usato. I gas reattivi possono anche essere usati per farfugliare i composti. Il composto può essere formato sulla superficie dell'obiettivo, durante il volo o sul substrato secondo i parametri trattati. La disponibilità di molti parametri che controllano farfuglia il deposito le rende un processo complesso, ma inoltre concede ad esperti un il grande grado di controllo sopra la crescita e la microstruttura del film.

Caratteristica: facile controllare spessore e colore di film, indennità e particella regolare del film

Applicazione: prodotti 3C, orologio, gioielli, ecc.

Processo verde: nessun gas nocivo, nessun acque reflue, nessun materiale riciclato.